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P產(chǎn)品分類RODUCT CATEGORY
S500高精度氣體質(zhì)量流量控制器,高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)1.高精度 2.快速響應(yīng) 3.自動(dòng)調(diào)零 4.任意角度安裝
產(chǎn)品型號：S500廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2022-08-02訪 問 量：5352
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S500高精度氣體質(zhì)量流量控制器,高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)
1.高精度
2.快速響應(yīng)
3.自動(dòng)調(diào)零
4.任意角度安裝
S500高精度氣體質(zhì)量流量控制器,高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)參數(shù)：
1.產(chǎn)品規(guī)格
| 項(xiàng)目 | S500 (規(guī)格Type AR111) |
| 外部密封 | 氟橡膠 |
| 接觸氣體材料 | SUS316L,氟橡膠,磁性不銹鋼 |
| 調(diào)節(jié)閥類型 | 非通電時(shí)常閉 |
| 滿量程流量(N2換算流量) | 10,20,30,50,100,200,300,500 mL/min 1,2,3,5,10,20,30 L/min |
| 流量控制范圍 | 2%～99%F.S. (0.1～5V DC) |
| 流量測量范圍 | 0～99%F.S. (0～5V DC) |
| 響應(yīng)時(shí)間（輸出電壓） | 1秒 (保證 1.5秒以內(nèi)T98) |
| 工作環(huán)境溫度 | 5～45℃ (精度保證 15～35℃) |
| 流量精度 | ±1.0%F.S |
| 線性 | ±0.5%F.S. |
| 重復(fù)性 | ±0.2%F.S. |
| 工作壓差 | 10mL/min～5L/min :50～300kPa(d) 10L/min～30L/min :100～300kPa(d) |
| zui大工作（使用）壓力 | 300kPa(G) |
| 耐壓 | 3MPa(G) |
| 泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/s(He)以下 |
| 流量設(shè)定信號 | 0.1～5VDC(2%～99%F.S.) |
| 流量輸出信號 | 0～5VDC(0%～99%F.S.) |
| 供電電源 | +15V±5% 100mA以下 －15V±5% 150mA以下 |
| 管路接頭 | 1/4inch HM-SWL、1/4inch SWL、φ6mm HM-SWL、1/4inch VCR |
| 安裝角度 | 任意 |
| 電氣接頭 | D-Sub 15pin |
| 輸入輸出阻抗 | 輸入：1MΩ以上 輸出：3mA以下 |
| 附加功能 | Auto-zero、Auto-close |
**滿量程流量50mL/min一下的響應(yīng)時(shí)間為2S以內(nèi)
2. ,高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)外形尺寸
3.電氣接口
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